等离子设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种等离子设备，等离子设备包括等离子发生组件、气流引导结构及进气组件，等离子发生组件包括两个等离子电极。两个间隔设置的等离子电极形成等离子腔，以使等离子腔能够形成等离子场。当进气组件通过进气口进气至等离子腔内，实现气体在等离子腔内的电离，形成等离子气体。由于气流引导结构设置于进气口处，气流引导结构上的分流孔与等离子腔连通，进而进气组件通过气流引导结构进气至等离子腔内时，需要经过分流孔的引流。利用气流引导结构上的分流孔，实现对进气组件喷出的气流的引导引流作用，进而便于使得气流通过分流孔后能够更加均匀地分布于等离子腔内，提高等离子体的产生效率，进而提高等离子体处理的效率。
基本信息
专利标题 ：
等离子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122533940.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-20
授权号 ：
CN216457952U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
吕尚亿梁冠雄丁雪苗赵芝强赵公魄
申请人 ：
珠海宝丰堂电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市金湾区红旗镇东成路118号2号厂房一至三层之一
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
米晶晶
优先权 ：
CN202122533940.5
主分类号 ：
B01D53/32
IPC分类号 ：
B01D53/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/32
用与B01D61/00组的方法不同的电效应
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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