微影VRS人员漏失改善装置
授权
摘要
本申请公开了微影VRS人员漏失改善装置，包括VRS机台，所述VRS机台上方安装有视频光学摄像头、照明源，所述视频光学摄像头、所述照明源均与PC主机相连，所述PC主机连接有显示器，所述视频光学摄像头的摄像方向、所述照明源的照明方向均朝向所述VRS机台。本申请的微影VRS人员漏失改善装置，能够避免人为判断工件缺点带来的影响，提高工件缺陷点的检测效率和质量。
基本信息
专利标题 ：
微影VRS人员漏失改善装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122161388.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-08
授权号 ：
CN216350274U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
刘爱斌李勇江朱佔涛唐少林陈林
申请人 ：
昆山鼎鑫电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇城北萧林路168号
代理机构 ：
苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
计静静
优先权 ：
CN202122161388.1
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95 H04N5/235 G08B21/24 G08B5/36
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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