本申请公开了一种检测设备。检测设备用于检测待测样品，检测设备包括光源装置、探测装置及承载装置。光源装置包括第一光源与第二光源，第一光源向样品投射光信号以形成第一光斑，第二光源向样品投射光信号以形成第二光斑，第一光斑的光功率小于第二光斑的光功率。探测装置接收由样品反射或散射的第一光斑生成第一检测信息，第一检测信息用于确定样品的特征对象所在的位置。承载装置承载样品，承载装置带动样品相对第一光斑及第二光斑运动，其中，在第二光斑照射至特征对象所在的位置时，降低投射至特征对象的第二光斑的光功率密度。避免特征对象在第二光斑的照射下炸开(解体)，进而避免扫炸开的特征对象对样品产生污染，提高样品的良率。