一种免清洁Sensor装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种免清洁Sensor装置，其包含Sensor座、设置在Sensor座底部的Sensor、设置在Sensor和Sensor座底部之间的密封防护层、设置在Sensor座中间部位的免清洁层及固定Sensor装置的紧固件；所述Sensor座顶部采用弧面设计以防止异物坠入；中间部位采用斜面设计与所述免清洁层结合，可以将坠入管道的异物从斜面滑出管道。此外，密封防护层既保证激光脉冲信号高精度传输，又隔绝大气层，进一步对Sensor进行保护。因此，该免清洁Sensor装置既能有效避免因异物坠入造成Sensor的误感应，又有效防止了Sensor被坠入异物砸坏的现象。大幅提高了物理气相沉积(PVD)设备的稼动性，增强了设备稳定性，降低了维护保养成本，增强了设备在真空镀膜业界的市场占有率。
基本信息
专利标题 ：
一种免清洁Sensor装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122484053.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
CN216246422U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
张建德秦志华
申请人 ：
福建钧石能源有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122484053.3
主分类号 ：
G01D11/00
IPC分类号 ：
G01D11/00 G01D11/24 G01D11/30 C23C14/52
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D11/00
非专用于特定变量的测量装置的组件
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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