一种用于PECVD炉口进气装置
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能电池生产领域，特别是涉及太阳能电池镀膜领域。一种用于PECVD炉口进气装置，包括容器和散气环，容器上壳体和容器下壳体密封连接在一起构成容器，容器上壳体顶部有多个单一气体进气口，容器下壳体与容器上壳体连接的口部有内沿，内沿上安装有混气层，容器下壳体底部通过立柱安装混和气球，混和气球通过管道连接混合气出口；散气环的外壁有连接内外的带内螺纹的第一通孔，PECVD炉口部对应散气环的第一通孔处有第二通孔，第一通孔和第二通孔通过螺纹连接安装混合气进气装置，进气装置通过管道连接混合气出口。
基本信息
专利标题 ：
一种用于PECVD炉口进气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122491097.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-16
授权号 ：
CN216473475U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
赵科巍张云鹏鲁贵林吕爱武
申请人 ：
山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请人地址 ：
山西省长治市高新区漳泽新型工业园区
代理机构 ：
太原市科瑞达专利代理有限公司
代理人 ：
李富元
优先权 ：
CN202122491097.9
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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