一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置

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摘要

本实用新型涉及一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，包括进气组件、驱动组件、传动组件和搅拌组件；进气组件包括进气管A和固定套，进气管A安装在固定套侧壁上；驱动组件与传动组件连接；传动组件包括中空转轴，中空转轴插装在固定套中的端部侧壁上开有多个进气孔，其上端与搅拌组件的进气管B的下端连接；搅拌组件包括在进气管B和安装在进气管B端部的搅拌风扇。碳源气体从进气管A进入，经过中空转轴进入进气管B中，进气管B的顶端出口伸入沉积室中，气体经过进气管B进入沉积室内，搅拌风扇匀速旋转，使气体均匀的向沉积室各个方向分散，持续搅拌保证沉积室的气场浓度和温度相对均匀，产品的沉积密度均匀，没有气场浓度死角，不会形成炭黑。

基本信息

专利标题：

一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921399116.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-27

授权号：

CN210287520U

授权日：

2020-04-10

发明人：

张宜杰

申请人：

烟台鲁航炭材料科技有限公司

申请人地址：

山东省烟台市开发区牡丹江路1号

代理机构：

烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

丁宝君

优先权：

CN201921399116.1

主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/455