本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括混合箱，所述混合箱顶部的中轴处固定连接有电机，所述电机输出端的左侧固定连接有连接杆，所述连接杆的底部设置有转轴，所述转轴的表面固定连接有搅拌叶，所述转轴的底部固定连接有活动齿轮，所述活动齿轮的右侧啮合有固定齿轮。本实用新型通过混合箱、电机、连接杆、转轴、搅拌叶、活动齿轮、固定齿轮、固定柱、空心柱、连接柱、连接板、弹簧、连接管、喷头、第一单向阀、第二单向阀、进气管、导气管、炉体和通孔的配合，解决了现有的进气机构不具备混合功能，导致气体混合效果差，以及进入化学气相沉积炉内的气体分布不均匀，造成化学反应不充分的问题。