本实用新型公开了一种研磨工作台平坦度测量装置及包含其的研磨系统，测量装置可设置于研磨工作台行进方向的两侧，测量装置包括：底座，底座设置于用于支撑研磨工作台的支撑平台上；可折叠的支撑架，支撑架与底座连接；以及测量仪器，测量仪器设置于支撑架上，在测量过程中，测量仪器置于研磨工作台的上方且测量仪器的探头抵接研磨工作台，测量仪器用于测量研磨工作台表面上的点位相对于基点的高度值以衡量研磨工作台的平坦度。本实用新型提供的研磨工作台平坦度测量装置，通过测量装置得出的数据对研磨工作台或者滑动轨道的高度位置进行调整，提高了调整的精度，保证了工作台行进过程中的平稳性。