一种研磨不升盘测量厚度装置
授权
摘要
本实用新型涉及晶片加工技术领域,尤其涉及一种研磨不升盘测量厚度装置,包括研磨盘,还包括千分表及其底座,所述千分表由表盘和表杆组成,所述底座一端设有容纳千分表的表杆的容纳通孔,所述容纳通孔外侧面开设有螺孔,所述螺孔内设有限位螺钉,所述研磨盘的上盘面边缘开设有容纳千分表的表杆的凹槽,所述凹槽贯穿上盘面。本实用新型不需升降盘即可测量产品厚度,提高产品良率的同时提高生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种研磨不升盘测量厚度装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020589326.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-20
授权号 :
CN212071559U
授权日 :
2020-12-04
发明人 :
韩巍巍葛文志邓宇韩威风管文杰
申请人 :
浙江美迪凯现代光电有限公司
申请人地址 :
浙江省台州市温岭市产学研工业园科技大道
代理机构 :
杭州中利知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
卢海龙
优先权 :
CN202020589326.3
主分类号 :
B24B37/013
IPC分类号 :
B24B37/013 B24B49/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/005
研磨机床或装置的控制装置
B24B37/013
检测研磨完成的设备或装置
法律状态
2020-12-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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