一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件
授权
摘要

本实用新型公开了一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件,包括石英舟,石英舟包括石英底板,石英底板包括用于对硅片进行间隔支撑的支撑部件,支撑部件包括支撑主板,支撑主板内部设有通口,通口内部设有用于对硅片进行斜向支撑的倾斜板,倾斜板上设有用于对硅片进行卡设的卡设部件,卡设部件包括用于对硅片进行承载的载片板,旨在对硅片在石英舟内部的支撑排列重新排布,使得每一硅片错开间隔排列,使得吹入的氮气均匀的分散在每一硅片之间,提高硅片扩散的均匀性。

基本信息
专利标题 :
一种基于晶体硅太阳能扩散加热的支撑组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122537585.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-21
授权号 :
CN216354245U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
郑善存夏兴强崔继源
申请人 :
江苏中宇光伏科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧
代理机构 :
无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张姝
优先权 :
CN202122537585.9
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L21/22  H01L21/673  
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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