加热板支撑组件及镀膜设备
授权
摘要
一种加热板支撑组件及具有该加热板支撑组件的镀膜设备，所述加热板支撑组件包括支撑单元、高度调节单元及固定单元，所述支撑单元包括支撑主体及从所述支撑主体向下延伸的支撑螺杆，所述固定单元固定所述高度调节单元于所述支撑单元上，所述高度调节单元的数量的改变能够调节所述加热板支撑组件的高度，实现调节加热板对基材的加热温度，减少热量损失。
基本信息
专利标题 ：
加热板支撑组件及镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020714584.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-30
授权号 ：
CN212533099U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
孟宪超吴兴华张鹤李长江李翔黎微明
申请人 ：
江苏微导纳米科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2
代理机构 ：
苏州佳博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗宏伟
优先权 ：
CN202020714584.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/54
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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