一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备

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摘要

本实用新型公开了一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备。该装置包括温度传感部件、控制部件和加热传感基板，其中，加热传感基板包括第一磁场产生部件、第二磁场产生部件、第一热量产生部件和第二热量产生部件，第一热量产生部件与第一磁场产生部件对应设置，穿过第一热量产生部件的磁通量基于第一磁场产生部件的磁场变化而变化，以及第二热量产生部件与第二磁场产生部件对应设置，穿过第二热量产生部件的磁通量基于第二磁场产生部件的磁场变化而变化。本实用新型的技术方案可以精确控制加热温度，以对待镀膜基板均匀加热，进而避免在待镀膜基板上沉积的薄膜出现膜质异常的问题。

基本信息

专利标题：

一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920522140.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-17

授权号：

CN209906878U

授权日：

2020-01-07

发明人：

徐荣桢

申请人：

昆山龙腾光电有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN201920522140.3

主分类号：

C23C16/46

IPC分类号：

C23C16/46 C23C16/52