一种镀膜设备中的加热传感装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种镀膜设备中的加热传感装置，涉及镀膜技术领域，本实用新型包括工作台、加热装置、水箱以及镀膜反应釜，工作台一表面与加热装置下表面焊接，加热装置包括加热装置本体、支撑架以及绝缘柱，若干支撑架一端均与加热装置本体下表面连接，绝缘柱周侧面与支撑架一表面焊接，加热装置一表面与水箱一侧表面连接，水箱包括水箱本体、进水管以及第一控制阀门，进水管一端与水箱本体一侧表面连接，第一控制阀门安装于进水管周侧面，水箱一表面设有安装槽，镀膜反应釜下表面与安装槽连接，本实用新型中，通过交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜设备中的加热传感装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022103360.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213570705U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
曾宇
申请人 ：
视睿光学科技（东莞）有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇锦厦社区一坊工业区3号一楼108
代理机构 ：
深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨艳霞
优先权 ：
CN202022103360.8
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C16/44
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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