一种镀膜设备用加热腔体
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摘要
本实用新型公开了一种镀膜设备用加热腔体，涉及电加热技术领域。本实用新型包括主体，主体内部设有内腔，内腔内部设有第一腔室、第二腔室、第三腔室、第一真空器、第一真空器、旋转器和电动收缩器，第一腔室内部设有加热器，第二腔室内部设有收缩门和放置门，第三腔室内部设有固定导轨和放料口，旋转器与第二腔室相连接，电动收缩器与收缩门相连接，主体表面设有温度显示器、第一膜厚仪显示器和第二膜厚仪显示器。所以，通过设置第一腔室、加热器、旋转器、第二腔室、温度显示器、第一膜厚仪显示器和第二膜厚仪显示器，达到均匀受热，均匀覆盖和对成膜覆盖的情况的了解，达到随时调整的作用。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜设备用加热腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022103153.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213596378U
授权日 ：
2021-07-02
发明人 ：
曾宇
申请人 ：
视睿光学科技（东莞）有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇锦厦社区一坊工业区3号一楼108
代理机构 ：
深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨艳霞
优先权 ：
CN202022103153.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/50 C23C14/52
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-07-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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