本实用新型公开了一种干法镀膜设备腔体用起吊装置，包括支撑柱，两个所述支撑柱顶部固定连接有滑轨，所述滑轨顶部契合设有两个滑块，两个所述滑轨上相对应的两个滑块之间连接有横杆，所述横杆数量设置为两个且平行设置，两个所述横杆两端之间均固定连接有第一电动伸缩杆。本实用新型通过设置两个横杆、第一电动伸缩杆、起吊组件、第二电动伸缩杆和支撑结构，有利于在起吊时，将支撑结构的第一连杆、第二连杆、第三连杆、第四连杆和第五连杆穿过干法镀膜设备腔体内部，通过第三电动伸缩杆底部的链条挂在挂钩上进行固定，当两个支撑结构都固定好后，启动第一电动伸缩杆使得底部的两个支撑结构刚好卡在干法镀膜设备腔体内部的两侧，避免在移动过程中发生晃动。