本实用新型提供一种接头组件、过渡腔体及镀膜设备，涉及化学气相沉积技术领域。接头组件包括进气接头和耗散单元，进气接头的出气端与耗散单元相连；耗散单元内设有至少一个耗散腔，耗散腔的内壁具有进气侧和出气侧，进气侧开设有进气孔，出气侧开设有出气孔，且出气孔与进气孔错位设置。回填气体进入进气接头后，通过进气孔进入耗散腔。由于出气孔与进气孔错位设置，故进入耗散腔的气流无法直接从出气孔排出，而是先冲击在出气侧，形成紊流。此时，气流的能量在耗散腔内消耗，耗散腔内的气压高于耗散单元外部，从而降低回填气体的冲击力，有效地减少扬尘，提高晶圆的表面质量，同时防止晶圆被吹起，进而避免晶圆掉落和磕伤。