一种镀膜设备用加热腔体
授权
摘要
本实用新型公开了一种镀膜设备用加热腔体，包括壳体和蓄力旋转机构，所述壳体内部设有第一电热板和第二电热板，壳体上方的壳盖上安装有调节第二电热板高度的升降机构，壳体内部位于第一、第二电热板之间设有一个以上的环形电热丝，第一电热板表面的中心处向上凸出形成第一固定部，蓄力旋转机构安装于第一固定部上，蓄力旋转机构上端安装有放置板。本实用新型结构简单，能根据镀膜工件的大小调整第一、第二电热板之间的距离，使热量能更快的将空间加热，并通过位于上下的第一、第二电热板及外圈的环形电热丝能全面的对镀膜工件进行加热，增加了工件上热量分布的均匀性，同时通过蓄力旋转机构能将工件在壳体内部转动，增加了镀膜的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜设备用加热腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021419638.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-19
授权号 ：
CN212640596U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
许元理汪曙新刘扬
申请人 ：
深圳市联生佳科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山新区坑梓街道龙田社区莹展工业园A1栋三楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021419638.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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