一种MEMS陀螺仪及电子设备
授权
摘要

本实用新型提供一种MEMS陀螺仪,包括内部耦合梁、外部耦合梁、连接于内部耦合梁的外侧交替设置的驱动结构以及检测结构;驱动结构包括多个驱动质量块,检测结构包括多个检测质量块;驱动质量块和检测质量块的一端与内部耦合梁连接,驱动质量块和检测质量块的另一端通过外部耦合梁连接;其中,驱动结构还包括连接驱动质量块与外部锚点的第一解耦结构以及设置于第一解耦结构上的第一换能器,第一解耦结构配置于驱动质量块远离内部耦合梁的一侧,第一换能器激励驱动质量块振动。本实用新型的MEMS陀螺仪能够充分提高第一换能器的布置面积从而实现小驱动电压下的更大振动振幅,进而提高灵敏度。

基本信息
专利标题 :
一种MEMS陀螺仪及电子设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122573095.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-25
授权号 :
CN216593437U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
杨珊占瞻彭宏韬马昭阚枭李杨黎家健洪燕陈秋玉
申请人 :
瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市光谷三路777号武汉东湖综合保税区A塔楼
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122573095.4
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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