本实用新型涉及高灵敏度MEMS麦克风，包括具有正面和背面的基底，基底上形成贯穿正面和背面的背腔，基底正面形成第一绝缘支撑部对覆盖背腔的振动膜进行支撑，振动膜上形成第二绝缘支撑部对极板进行支撑，极板与振动膜之间形成间隙，极板上形成连通间隙的通孔；背腔内设有与振动膜底部接触的支撑体，支撑体将背腔划分为相互连通的两个子背腔，支撑体包括上支撑体和下支撑体，下支撑体与背腔周围的基底连为一体，上支撑体形成于下支撑体顶部，上支撑体与第一绝缘支撑部为同层结构所形成。本实用新型将单颗麦克风芯片面积增大，通过背腔容积的扩充来实现灵敏度的提高，在背腔内部增设了支撑振动膜中部的支撑体，避免因振动膜振幅过大造成损坏。