一种双层气浮运动装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，具体公开了一种双层气浮运动装置。该装置包括基座、第一运动台和第二运动台，基座的顶端设有在基座的高度方向间隔设置的第一气浮轨道和第二气浮轨道，第一气浮轨道高于第二气浮轨道，第一气浮轨道与第二气浮轨道的长度方向均为第一方向，第一方向垂直于基座的高度方向；第一运动台包括第一支撑架和第一气浮组件，第一支撑架与第一气浮组件相连，第一气浮组件与第一气浮轨道之间形成气浮；第二运动台包括第二支撑架和第二气浮组件，第二支撑架与第二气浮组件相连，第二气浮组件与第二气浮轨道之间形成气浮。上述结构改进将两个运动台整合到同一装置，且通过选用气浮组件的方式提高了装置动作的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种双层气浮运动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122693950.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-05
授权号 ：
CN216199849U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
吴火亮江旭初董亚聪陈啸虎
申请人 ：
苏州隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇临沪大道北侧
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
王士强
优先权 ：
CN202122693950.5
主分类号 ：
F16C32/06
IPC分类号 ：
F16C32/06 F16C29/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C
轴；软轴；在挠性护套中传递运动的机械装置；曲轴机构的元件；枢轴；枢轴连接；除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件；轴承
F16C32/00
不包含在其他类目中的轴承
F16C32/06
带有至少在很大程度上不是由轴的运动形成的流体垫所支承的运动元件，如流体静力气垫轴承
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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