本实用新型公开了一种PECVD镀膜变节距中转机构，包括安装架和夹持机构，夹持机构设置于安装架的一侧，夹持机构包括两个夹持臂和固定机构，固定机构设置于夹持臂上，固定机构包括多个夹块，多个夹块等距固定安装在夹持臂上，相邻两个夹块之间设置卡槽，夹块的一侧固定连接有传感器，安装架的一侧固定连接有双向气缸。本实用新型通过将硅片移动到夹持臂的下方位置，使得相邻两个夹块之间的卡槽与单独硅片的位置相对应，利用双向气缸的运行，带动两个夹持臂沿着导轨一相向移动，对硅片的两面夹紧固定，使得多个硅片等距排列设置，通过夹持臂进行转动，避免出现皮带纹，减少工人的劳动量，提供生产效率。