一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组
授权
摘要
本实用新型公开了一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组，属于氮化镓生产技术领域，其包括底盘，以及两个设置于底盘且开口相对的半环柱，两个半环柱形成用于容置高压釜底部的容置空间；高压釜的底面开设有若干定位缺口，底盘在容置空间处设有若干与定位缺口配合的定位块；当高压釜底部置于容置空间时，定位块与定位缺口相契合；解决了由于高压釜为长径比大的反应器，呈圆柱状体，在进行上述晶体生长工序时需要有效固定釜体，避免由于操作不当引起釜体倾倒，产生生产安全的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种氮化镓高压釜的固定装置及固定装置组
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122757893.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216499194U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
乔焜林岳明
申请人 ：
深圳威镓芯材半导体科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区华富街道新田社区彩田路3030号橄榄鹏苑B座2706
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122757893.2
主分类号 ：
B01J3/06
IPC分类号 ：
B01J3/06 C01B21/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J3/00
利用低于或高于大气压力使物质发生化学或物理变化的方法；其有关设备
B01J3/06
应用超高压方法，例如，用于生成金刚石；其设备，例如塑模或挤压模
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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