一种硅片精准上下片装置及双层载板传输装置
授权
摘要
本申请实施例提供一种硅片精准上下片装置及双层载板传输装置，涉及太阳能电池制备技术领域。硅片精准上下片装置中的载板定位移载机构包括两条并列且平行设置的载板移动导轨，设置于载板移动导轨上的载板移动支架，载板移动支架上安装有用于固定载板边沿的夹紧定位件；硅片输送机构上的硅片和载板定位移载机构上的载板均能够输送至机械手的正下方，机械手能够将硅片输送机构上的硅片移载至载板定位移载机构上的载板。硅片精准上下片装置及双层载板传输装置中各机构分层设置，占地面积小，还能实现载板的精准定位传输和硅片精准上下片，生产效率高，碎片率低。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片精准上下片装置及双层载板传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122765048.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216250766U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
许明现王进马胜涛胡林
申请人 ：
东方日升（常州）新能源有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市金坛区直溪镇工业集中区水南路1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
吕露
优先权 ：
CN202122765048.X
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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