一种一体式龙门架硅片排齐装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种一体式龙门架硅片排齐装置，包括龙门架本体和设置在龙门架横梁上的花篮硅片排齐单元和舟硅片排齐单元；其中花篮硅片排齐单元通过驱动源和同步带的方式，带动第一加紧板和第二加紧板水平运动完成硅片的抓取动作，舟硅片单元则是通过两组相对设置的气缸的伸缩完成硅片的住区动作。本实用新型通过将花篮硅片排齐单元和舟硅片排齐单元集成在龙门架横梁上，结构简单，占地面积小，仅通过两组驱动源就可以完成硅片排齐的动作，方便调试。
基本信息
专利标题 ：
一种一体式龙门架硅片排齐装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122787853.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-15
授权号 ：
CN216719967U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵顾正亚
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴竹慧
优先权 ：
CN202122787853.2
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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