本实用新型提供一种硅材料微波干燥设备，属于硅材料加工技术领域，该硅材料微波干燥设备包括支撑架，所述支撑架的顶部设置有输送辊，所述支撑架的中部设置有微波加热器，所述微波加热器的两侧均活动连接有活动盖板，所述微波加热器的两侧顶部均设置有驱动机构，所述微波加热器的底部设置有腔体，所述腔体的内部设置有托盘，所述输送辊的外侧设置有防护层。该硅材料微波干燥设备，通过输送辊带动硅材料进入微波加热器的内部，利用微波加热器提升硅材料自身的温度，从而加快其表面的水分蒸发，提高了干燥效率，而且不会存在干燥死角，具有较好的干燥效果，通过在微波加热器的底部设置托盘，能够对碎料进行收集，便于对其进行处理。