一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟,包括加工台和净化组件,所述加工台的上方安装有滑轨,且滑轨上方连接有支撑架。该管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟通过保温层、玻璃棉和铝箔反光层的设置,在加热炉的使用过程中,为了迅速提高炉内的温度,以保证加热的效果,因此需要一种对炉内保温的装置,当加热炉对产品进行加热时,通过炉内内部的铝箔反光层的设置,可将炉内的光源进行反射,从而将炉内的温度升高,且在铝箔反光层的外部连接有保温层和玻璃棉,通过保温层和玻璃棉的保温作用,对炉内的温度进行保温,防止热量的散失,保温装置可以对炉内的温度进行保持,使其对产品进行持续的加热,具有实用性。
基本信息
专利标题 :
一种管式等离子体多晶硅薄膜淀积炉悬浮承载舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122871652.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-23
授权号 :
CN216274465U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
彭华
申请人 :
深圳市坚越真空技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区创业路3号厂房B整套
代理机构 :
深圳鹏博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
武治龙
优先权 :
CN202122871652.0
主分类号 :
C30B28/14
IPC分类号 :
C30B28/14 C30B29/06 B01D46/12 B01D46/62
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B28/00
制备具有一定结构的均匀多晶材料
C30B28/12
由气态直接制备
C30B28/14
用反应气体的化学反应法
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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