一种CVD方法制备SiC的尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种单丝SiC纤维的制备领域，具体涉及一种CVD方法制备SiC的尾气处理装置。该装置设有低温冷凝系统、二次过滤系统、尾气排放系统、缓冲雾化系统，反应管通过反应管尾气出口与低温冷凝系统的冷凝箱尾气进入管相连，低温冷凝系统通过冷凝箱尾气排放管与二次过滤系统的三通接头相连，二次过滤系统的排气口通过管路与尾气排放系统的进气口相连，尾气排放系统的排气口与缓冲雾化系统的进气口相连。本实用新型按照尾气中对环境污染程度进行分级处理，经过三级过滤，可以高效地处理连续单丝SiC纤维工艺过程中排放的尾气。
基本信息
专利标题 ：
一种CVD方法制备SiC的尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122893775.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
CN216604718U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
王玉敏王永才苏葵杨锐
申请人 ：
中国科学院金属研究所
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
代理机构 ：
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张志伟
优先权 ：
CN202122893775.4
主分类号 ：
B01D53/76
IPC分类号 ：
B01D53/76 B01D53/68 B01D53/14 B01D53/00 B01D5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/76
气相方法，例如使用气溶胶
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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