一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置
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摘要
一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置，包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔，其下端面盖设上纱网；第一通孔内设有上直线轴承，包括第一内圈和第一外圈；第一通孔内还嵌有上顶圈，其下端设有第一抵持部；上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板开设第二通孔，其上端面盖设下纱网；第二通孔内设有下直线轴承，包括第二内圈和第二外圈；第二通孔内还嵌有下顶圈，其上端设有第二抵持部；下顶圈与第二通孔螺纹配合。上盖板与下底板相盖合，两纱网临近，形成一用于放置3D MEMS探针网的间隙；上顶圈向下旋动，带动第一内圈与上纱网抵持，使所述上纱网绷紧；下顶圈向上旋动，带动第二内圈与下纱网抵持，使所述下纱网绷紧。
基本信息
专利标题 ：
一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122908830.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-24
授权号 ：
CN216705394U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
周明徐兴光
申请人 ：
强一半导体（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区洲德路1588号金桥临港智荟园一期K幢2层
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
马明渡
优先权 ：
CN202122908830.2
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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