一种三轴传输石英舟的传输机构
授权
摘要
本实用新型公开一种三轴传输石英舟的传输机构，包括输送单元、升降单元以及机架，升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，第一升降动力设备安装于机架上并带动第一过渡支架升降，输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，第一水平输送设备安装于第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，第二升降动力设备安装于第一过渡支架上并带动第二过渡支架升降，第二水平输送设备安装于第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动。本实用新型通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种三轴传输石英舟的传输机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122919789.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216719900U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵梁齐辉
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
冯瑞
优先权 ：
CN202122919789.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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