本实用新型公开了一种输送过程中缺陷片剔除装置，包括：翻转输送机构和拾取机构；翻转输送机构设置于硅片输送线间，上部设置有输送面，该输送面能够在两种状态间切换，第一状态时，与硅片输送线的输送面平齐，形成连续的用于输送硅片的输送线，第二状态时，输送面倾斜设置，使得输送至其上的硅片沿着倾斜的输送面脱出；拾取机构包括有固定架、移送件和拾取件，固定架对应翻转输送机构固定设置，移送件安装在固定架上，拾取件安装在移送件上，并对应翻转输送机构的输送面，拾取输送面上缺陷硅片，通过移送件移出。本实用新型中使用翻转输送机构，可以快速将连续缺陷硅片剔除，使用拾取机构可以定点剔除个别存在的缺陷硅片。