一种新型电极驱动结构及MEMS开关
授权
摘要
本申请公开了一种新型电极驱动结构，包括基底；设于所述基底上表面的滑动部件；用于驱动所述滑动部件的驱动部件，且驱动部件的位置不低于所述基底的上表面，所述驱动部件驱动所述滑动部件在所述基底的上表面滑动。本申请的驱动结构中滑动部件设置在基底的上表面，驱动部件的位置不低于基底的上表面，即驱动部件并不设置在基底内部，驱动部件在驱动滑动部件在基底上表面滑动时，驱动部件和滑动部件之间的力并不会施加在滑动部件朝向基底的方向上，滑动部件在更小的驱动力作用下就可以实现更快速地驱动。此外，本申请还提供一种MEMS开关。
基本信息
专利标题 ：
一种新型电极驱动结构及MEMS开关
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122979730.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
CN216648555U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
李闯向小健聂锦辉胡恒谦郑泉水
申请人 ：
深圳清华大学研究院;清华大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区粤海街道高新技术工业村
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张艺
优先权 ：
CN202122979730.9
主分类号 ：
H01P1/10
IPC分类号 ：
H01P1/10
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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