多功能承载台
授权
摘要
本实用新型公开了一种多功能承载台,用于片状物体检测时的承载、定位,该承载台包括承载底座、承载工作台,承载工作台具有位于上方的用于支撑片状物体的上支撑部,该上支撑部具有位于中心部位的内圈区域和位于内圈区域外围的外圈区域,承载工作台在外圈区域上设置凹槽、外腔室、密封条,承载工作台在内圈区域设置有凹陷的内腔室、多个凸台;内圈区域和外圈区域之间的界限处设置有一圈凸起层。本方案通过对承载台的特殊设计,使得该承载台可以满足对多种材质、样式的片状物体测试时的承载、定位要求,该承载台既能满足硅片的测量测试,又能满足玻璃片的测试,实现了一台多用的功能,降低生产成本,减少设备占用的场地空间。
基本信息
专利标题 :
多功能承载台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123107138.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
CN216695503U
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
何清波
申请人 :
江苏匠岭半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市常熟市东南街道东南大道1150号10-1幢
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
潘文斌
优先权 :
CN202123107138.6
主分类号 :
G01M11/00
IPC分类号 :
G01M11/00 G01M11/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试;其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2022-06-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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