一种晶圆自动定心装置
授权
摘要
本实用新型提出一种晶圆自动定心装置，包括支承装配组件、轴向支撑组件、静止定心组件、活动定心组件及切换驱动组件，该晶圆自动定心装置采用静止压轮及活动压轮对晶圆进行物理定心处理，不必通过测量传感器计算圆心位置，并且可在常规支承载台上进行改装，有利于降低设备成本；其支承载台安装于晶圆检测装置的移动平台上，实现定心测量一体化操作，测量更为准确稳定；晶圆在静止压轮及活动压轮进行定心处理后由切换拉簧对其进行位置保持，处于固定状态，当检测平台使用更高的检测速度时晶圆位置也不会发生变化，晶圆的检测数据更加稳定，同时提升设备的检测速度上限，进一步提高设备效率。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆自动定心装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123121737.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216597541U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
徐鑫丁行健
申请人 ：
嘉兴微拓电子科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路18号
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪文芹
优先权 ：
CN202123121737.3
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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