一种ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台，包括桌面板；晶圆载板，设置在桌面板的上表面，晶圆载板的一端与执行电缸的输出端连接，桌面板上表面位于执行电缸的两侧设置有导向轴，桌面板上设置有导向轴支撑座，导向轴与导向轴支撑座滑动连接，导向轴的一端通过轴承与晶圆载板的一端连接；冷却风机，设置在桌面板的上表面，且位于晶圆载板的下方，晶圆载板的表面设置有多个晶圆冷却通风口。该ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台能够实现300片晶圆自动化的放入腔体，同时还可以将加工好后的晶圆，不仅从腔体内部取出，还可以对晶圆进行降温冷却。
基本信息
专利标题 ：
一种ALD批量生产高温冷却工艺装卸平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123187025.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216445460U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
郑锦范嘉磊付长杰倪明李虎王亚东刘松朱静静
申请人 ：
南京原磊纳米材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区浦云路266号青云大厦B栋22层
代理机构 ：
东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
卜中元
优先权 ：
CN202123187025.1
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
