本实用新型提供了一种内光源光控膜厚检测装置，用于检测镀膜装置中的工件的膜厚，所述镀膜装置包括腔体、旋转轴和旋转工作架，所述旋转轴设置在所述腔体的内部，所述旋转工作架上设置有测试工件，所述装置包括：光源、透镜、位置编码器、光信号接收器和光学膜厚控制器，所述光源设置在测试工件的后方，所述透镜设置在所述腔体上，所述位置编码器设置在位于腔体外的旋转轴上，所述光信号接收器设置在所述腔体的外部，所述光信号接收器和所述位置编码器分别与所述光学膜厚控制器连接。本实用新型能够获取精确和稳定的检测信号。