外光源光控膜厚检测装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种外光源光控膜厚检测装置，包括：光源、第一透镜、第二透镜、位置编码器、第一光信号接收器、光信号发射器、第二光信号接收器和光学膜厚控制器，光源设置在腔体的外部，第一透镜设置在腔体上，位置编码器设置在中空旋转轴上，第一光信号接收器设置在腔体的内部，与光信号接收器连接；光信号发射器固定在中空旋转轴的底部的轴心位置处，第二透镜设置在腔体的底部，第二光信号接收器设置在腔体的底部外侧上，光信号发射器、第二透镜和第二光信号接收器位于同一直线上；光学膜厚控制器分别与第二光信号接收器和位置编码器连接。本实用新型能够获取精确和稳定的检测信号。
基本信息
专利标题 ：
外光源光控膜厚检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123232593.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216432858U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
安永
申请人 ：
布勒莱宝光学设备（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
代理机构 ：
北京锺维联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄利萍
优先权 ：
CN202123232593.9
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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