一种光学薄膜加工用的厚度检测装置
授权
摘要
本实用新型为一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，涉及光学薄膜加工领域。包括光学薄膜厚度测量仪本体，还包括：承托机构，其用以承托待检测光学零件；平面坐标系移动机构，其设置在光学薄膜厚度测量仪本体上用以驱动承托机构沿水平的平面坐标系的X轴方向和Y轴方向移动，X轴方向与Y轴方向相互垂直；以及移动减震机构，其设置在承托机构与平面坐标系移动机构之间用以减缓从平面坐标系移动机构传递到承托机构处的震动。
基本信息
专利标题 ：
一种光学薄膜加工用的厚度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123231230.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216645296U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
魏丽秀
申请人 ：
长春富倍驰光电科技有限公司
申请人地址 ：
吉林省长春市朝阳区红旗街55号警苑小区2栋1单元201室
代理机构 ：
长春众邦菁华知识产权代理有限公司
代理人 ：
王丹阳
优先权 ：
CN202123231230.3
主分类号 ：
G01B21/08
IPC分类号 ：
G01B21/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B21/08
用于计量厚度
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
