一种光学薄膜加工用的厚度检测装置

授权

摘要

本实用新型涉及薄膜加工技术领域，且公开了一种光学薄膜加工用的厚度检测装置，包括装置台体，所述装置台体的一侧设置有侧板，且侧板靠近装置台体的一侧滑动连接有活动块，所述装置台体的表面开设有与活动块相匹配的凹槽，所述装置台体远离侧板的一侧设置有支撑座，且支撑座的上表面通过多个第一连接杆固定连接有倾斜板体，且倾斜板体的下端与装置台体的上端侧壁固定连接，该种光学薄膜加工用的厚度检测装置，通过引入具有较小倾斜角度的倾斜板体，使得薄膜的厚度放大为活动块距离凹槽的高度以及滑块沿倾斜板体滑动距离等较大的数值进行计算，由此实现较大刻度测量装置对厚度较小的薄膜的计算。

基本信息

专利标题：

一种光学薄膜加工用的厚度检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922342276.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-23

授权号：

CN211121141U

授权日：

2020-07-28

发明人：

刘凌松陈国彦罗国星李朋辉伍梓辉周培李松

申请人：

深圳正和捷思科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区坪地街道佳兴路2号

代理机构：

中山市兴华粤专利代理有限公司

代理人：

邓爱军

优先权：

CN201922342276.9

主分类号：

G01B21/08

IPC分类号：

G01B21/08