光学薄膜测厚仪
专利权的终止
摘要

本实用新型提供一种光学薄膜测厚仪,该仪器包括有光源、电源、光纤光谱仪、光纤跳线、探头、样品台、水平调节旋钮以及USB接口,所述光源、电源、光纤光谱仪分别固定在该仪器壳体内后侧的安装板上;光纤探头安装在样品台上的横梁上,水平调节旋钮置于样品台的下方;所述光源、光纤光谱仪、探头分别连接光纤跳线;光纤光谱仪带有USB接口。有益效果是该仪器结构使光路方便调节,提高了测量精度,保证有足够的反射光进入光纤;使用光阑来调节测量光束的大小,操作简便,使仪器适用于不同的测试样品和条件,拓宽了仪器的适用性;样品台加入水平调节装置,保证光束严格垂直样品表面,而且使其能够测量不规则样品。

基本信息
专利标题 :
光学薄膜测厚仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820075443.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-07-24
授权号 :
CN201247048Y
授权日 :
2009-05-27
发明人 :
张姝孙双猛牛旭文
申请人 :
天津港东科技发展股份有限公司
申请人地址 :
300386天津市南开区华苑产业园区鑫茂科技园G座EF单元二层
代理机构 :
天津才智专利商标代理有限公司
代理人 :
吕志英
优先权 :
CN200820075443.7
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2014-09-10 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101586817934
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利号 : ZL2008200754437
申请日 : 20080724
授权公告日 : 20090527
终止日期 : 20130724
2009-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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