一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本实用新型能够保证固定的密封性和紧合度，可重复多次使用，可适用于所有APCVD背封炉，具有很强的通用性。本实用新型的固定装置显著地减少了设备的停机时间，保证了产品的质量，节约了喷头由于断钉造成的维修成本，杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。
基本信息
专利标题 ：
一种APCVD背封炉氮气罩的固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123232751.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216715536U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
赵晶邓建忠孙超姜振虎满序都冯瑞琪
申请人 ：
山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请人地址 ：
山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号（中元科技创新创业园）A座921室
代理机构 ：
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘秀青
优先权 ：
CN202123232751.0
主分类号 ：
F16L41/08
IPC分类号 ：
F16L41/08 C23C16/40 C23C16/44
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L41/00
支线管路；管子与壁的连接
F16L41/08
管子与壁或管子间的连接，管子轴线与壁面成垂直连接，或与另一管子轴线成垂直连接
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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