溅射靶材扩散焊接组合体
授权
摘要

本实用新型公开了溅射靶材扩散焊接组合体,该扩散焊接组合体包括靶材组件和盖板,靶材组件包括靶材和背板,背板的上、下表面中的至少一面开设内凹的槽,靶材嵌入槽后与背板齐平;背板开设槽的表面覆盖盖板,背板与盖板接触面或外周密封,从而将靶材组件与盖板密封为一个整体,靶材密封于背板与盖板组成的密闭容纳腔内。该实用新型的溅射靶材扩散焊接组合体,省略了包套和抽真空等工序,结构简单,加工制造成本低。

基本信息
专利标题 :
溅射靶材扩散焊接组合体
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123249959.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
CN216576031U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
高超林智行大岩一彦山田浩姚科科
申请人 :
浙江最成半导体科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市越城区银桥路326号
代理机构 :
北京东正专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘瑜冬
优先权 :
CN202123249959.3
主分类号 :
B23K20/02
IPC分类号 :
B23K20/02  C23C14/35  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K20/00
利用冲击或其他压力的非电焊接,用或不用加热,例如包覆或镀敷
B23K20/02
利用压力机
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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