一种集成电路行业研磨废水回用及硅粉回收处理系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种集成电路行业研磨废水回用及硅粉回收处理系统,使用这种系统对研磨废水进行处理,处理成本低、污泥产量少而且出水电导率低。其包括调节池,调节池依次连接有UF装置、杀菌器、过滤器、中间水池、RO装置,UF装置还连接有压滤机,压滤机与调节池连接,压滤机还连接有干燥器。
基本信息
专利标题 :
一种集成电路行业研磨废水回用及硅粉回收处理系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123326828.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
CN216687774U
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
董全宇罗嘉豪于红申季刚祺丹娜陈琳媛
申请人 :
江苏中电创新环境科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区具区路88号
代理机构 :
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
顾吉云
优先权 :
CN202123326828.0
主分类号 :
C02F9/08
IPC分类号 :
C02F9/08 C01B33/037
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C02
水、废水、污水或污泥的处理
C02F
水、废水、污水或污泥的处理
C02F9/00
水、废水或污水的多级处理
C02F9/08
至少有一个物理处理步骤
法律状态
2022-06-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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