一种喷头校准工具
授权
摘要
本实用新型提供了一种喷头校准工具，包括固定部和延伸部，所述固定部用于固定在喷头上；所述延伸部的一端与所述固定部连接，另一端向远离所述固定部的方向延伸；所述延伸部的另一端与晶圆之间的距离为d，所述d满足0≤d≤1cm；当所述喷头校准工具安装在所述喷头上时，所述延伸部的中心线与所述喷头的中心线重合。所述延伸部的另一端与所述晶圆的上表面之间可以贴合或者距离很近，并且所述延伸部的中心线与所述喷头的中心线重合，这样可以利用所述延伸部的中心线的位置来浇筑所述喷头的中心线的位置，方便观察所述延伸部的中心线相对所述晶圆的上表面的位置，提高喷头的校准效率。
基本信息
专利标题 ：
一种喷头校准工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123406414.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216631805U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
梁自成
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区中新广州知识城凤凰五路28号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
钟晶
优先权 ：
CN202123406414.9
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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