本实用新型涉及辉光离子渗氮技术领域，具体为减小工业机器人精密齿轮变形的真空辉光离子渗氮装置，包括固定底块，所述固定底块的顶端中部固定连接有加工外罩，所述加工外罩的表面外侧固定连接有固定连接顶块，所述固定连接顶块的底端固定连接有固定液压杆，本实用新型通过设有的固定液压杆、固定连接顶块、固定限位框架、连接从动块和固定导向槽，便于通过固定液压杆的作用将固定连接顶块向上进行顶动，带动加工外罩进行移动，同时带动连接从动块在固定限位框架的内侧向上进行移动，通过固定限位框架和连接从动块可以对加工外罩的位置进行限制，防止在固定液压杆将固定连接顶块和加工外罩顶起时发生歪斜，提高了使用安全性。