双层辉光多功能离子轰击炉
专利申请的视为撤回
摘要
本发明创造公开了一种双层辉光多功能离子轰击炉。它包括由钟罩和底座组成的真空腔，在真空腔内设置由工作台和工件组成的第一阴极，灭弧装置，阳极，保温层，第一可调直流电源。在阳极内侧阴极外侧设有第二阴极，同时还设有第二可调直流电源，而两直流电源的正极共接于阳极，其负极分别与第一、二阴极相接。本装置具有渗速快，能耗省，变形小，表面质量好，无环境污染，温度容易调节，温度均匀性好，炉体结构简单等优点。
基本信息
专利标题 ：
双层辉光多功能离子轰击炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1095427A
申请号 ：
CN93106192.X
公开（公告）日 ：
1994-11-23
申请日 ：
1993-05-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高文龙
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
310013浙江省杭州市玉古路20号
代理机构 ：
浙江大学专利代理事务所
代理人 ：
张法高
优先权 ：
CN93106192.X
主分类号 ：
C23C8/36
IPC分类号 ：
C23C8/36 H01J37/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C8/00
金属材料表面中仅渗入非金属元素的固渗；材料表面与一种活性气体反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理法，例如转化层、金属的钝化
C23C8/06
使用气体的
C23C8/36
使用电离气体的，例如离子氮化
法律状态
1997-02-19 ：
专利申请的视为撤回
1994-11-23 ：
公开
1994-04-06 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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