本实用新型提供了一种辉光放电质谱仪及其样品定位装置，涉及质谱仪器技术领域。其中样品定位装置包括：定位装置本体，所述定位装置本体形成有用于安装测试用样品的安装腔，所述安装腔的底部形成有安装槽，所述安装槽的底部设置有贯穿所述定位装置本体的第一通孔；其中，所述安装槽包括若干用于安装样品的安装位，若干所述安装位配置为当样品固定于不同的安装位时，所述第一通孔对应所述样品的不同区域。还包括用于固定样品的定位块，所述定位块安装于所述安装腔内，用于将所述样品压装于所述安装槽内。本实用新型可以对同一样品上多个位置进行测试，提高测试数据精度，并节省制作多个样品的材料成本。