一种二次离子质谱仪中的样品观察装置
公开
摘要
本发明涉及一种二次离子质谱仪中的样品观察装置。本发明所述的样品观察装置包括圆盘，所述圆盘上设有观察孔、光入射孔、贯穿孔和遮挡机构，所述观察孔内设置有导光柱；所述光入射孔和所述观察孔分别贯穿所述圆盘，所述光入射孔形成贯穿所述圆盘的第一导光路径，所述观察孔形成贯穿所述圆盘的第二导光路径，所述第一导光路径与所述第二导光路径延伸至所述圆盘下方的部分形成交叉区域，该交叉区域用于放置样品；所述遮挡机构包括依次连接的操作部、连接部和遮挡部，所述操作部能够可操作的通过所述连接部，并带动所述遮挡部遮挡或暴露所述观察孔。本发明所述的样品观察装置结构简单，能够有效观察样品以及样品表面二次离子的逸出情况。
基本信息
专利标题 ：
一种二次离子质谱仪中的样品观察装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628221A
申请号 ：
CN202210070969.0
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蒋军浩钟高余袁元张启华张勇为钟碧麟其他发明人请求不公开姓名
申请人 ：
洪启集成电路（珠海）有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市高新区唐家湾镇哈工大路1号1栋C106
代理机构 ：
广州骏思知识产权代理有限公司
代理人 ：
张金龙
优先权 ：
CN202210070969.0
主分类号 ：
H01J49/02
IPC分类号 ：
H01J49/02 H01J49/04 H01J49/26 G01N27/64
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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