本说明书实施例提供一种离子探针质谱仪及其成像方法。具体地，所述离子探针质谱仪包括：压缩偏转板，被配置为通过施加第一电压将样品经一次离子束扫描并轰击产生的二次离子束按时序压缩；质谱仪，被配置为对经过压缩的二次离子束进行分析；解压偏转板，被配置为通过施加第二电压将经过所述质谱仪的二次离子束按时序解压；其中，所述第一电压和所述第二电压的频率相同；以及成像组件，被配置为获取经过所述解压偏转板解压的二次离子束图像。通过这样的技术方案，在离子显微镜模式的基础上，通过对二次离子束的压缩和解压，实现对质量分辨率的提高，同时能够满足点对点的显微功能，具有成像效率高的优势。