直流辉光等离子体实验装置

专利权的终止

摘要

一种直流辉光等离子体实验装置，它主要由直流辉光放电的机构及配套电路组成，所述的放电机构至少包括有一内置有放电电极的低压放电管，其内置有测试探针，并开设有抽气口和充气口，其内充入有空气、氢气、二氧化碳、氮气中至少一种工作气体；所述的抽气口接于一真空泵，并可使低压放电管内的真空气压在10Pa－400Pa；充气口通过一流量计接至工作气体的气源；所述的低压放电管内轴向两端放置有可在轴线50－150mm范围内移动的放电电极；所述的低压放电管的两端通过两个支架进行固定，且在其两端还设置有两个各通过循环水接口接至循环水泵的水冷支座；它具有结构简洁，操作方便，性能价格比很高，适合批量生产，有利于推广使用等特点。

基本信息

专利标题：

直流辉光等离子体实验装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620102056.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-03-27

授权号：

CN2886729Y

授权日：

2007-04-04

发明人：

马志斌郑志荣

申请人：

杭州大华仪器制造有限公司

申请人地址：

311401浙江省富阳市东山路23号

代理机构：

杭州九洲专利事务所有限公司

代理人：

翁霁明

优先权：

CN200620102056.9

主分类号：

G09B25/00

IPC分类号：

G09B25/00