本发明公开了一种直流辉光等离子体化学气相沉积氧化锌薄膜的系统及制备工艺，包括真空反应罩，上、下进气管，绝缘座，特征是在石英反应腔上方依次安装有冷却室、下气腔和上气腔，上、下出气管的上端分别伸在上、下气腔内，上出气管的下端穿过等离子体区，下出气管的出口在等离子体区的上方，两个气管呈均匀间隔排列，均垂直于基片；基片放在石墨台上表面的钽片上；在石英反应腔两侧的阳极和阴极呈竖直方向并排对立；反应室抽真空后，加热基片，二乙基锌或二甲基锌的气进入上进气管，二氧化碳和氢气混合气进入下进气管，二氧化碳和氢气在等离子体作用下充分反应，二乙基锌或二甲基锌在基片上热裂解，制备出高度择优取向、质量稳定的氧化锌薄膜。